精密運動平臺定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 大理石運動平臺

四軸精密運動平臺

  • 一般環境使用,無塵環境使用
  • 一款四軸精密運動臺,XY軸十字疊層三片式結構,可選配R軸用于角度調整,直線傳動配備精密滾柱導軌,采用防塵設計,使用壽命大大提升。常用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。

  • 產品參數

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

大理石運動平臺特點

XY軸十字疊層三片式結構,配備精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點;

采用防塵設計,有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進入直線臺,影響使用壽命,同時不受防塵罩擾動力的影響;

位置反饋采用光柵尺閉環反饋系統,定位精度提升明顯;

可選配R軸轉臺結構扁平薄,三軸疊層后降低工作點的高度,可360度旋轉,用于角度調整;

用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。


大理石運動平臺細節

精密大理石運動平臺細節

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